Yüzey Difüzyonu (surface diffusion)

Yüzey difüzyonu, katı malzeme yüzeylerinde, atomların ilk tabakasında (moleküller) veya bu tabakanın üstünde oluşan partiküllerin (atomlar, moleküller veya atom kümeleri) hareketiyle ilgili bir prosestir (bulk difüzyonda olduğu gibi).

Atomlar, katının ve adsorplanan partiküllerin bir parçası olduğundan, yüzey difüzyonuyla hareket edebilirler. Tipik olarak, yüzey partikülleri rastgele termal dalgalanmalarla hareketli hale geçerler. Bir konsantrasyon gradyanının (yüzey yoğunluğu) varlığında, çok sayıda partiküllerin rastgele dolaşımı, gradyanın ters yönde ortalama difüzyon hareketine yol açar.

Difüzyon prosesi, difüzlenen partiküller arasında etkileşim, yüzey fazlarının oluşumu (yüzey rekonstrüksiyonu), kusurların varlığı v.s. gibi birçok faktörden etkilenir. Yüzey difüzyon ince filmlerin büyümesi, substrat yüzeyi üzerinde nanoyapılar oluşumu ve seramiklerin sinterlenmesi gibi proseslerde belirleyici bir rol oynar.