Yüzey difüzyonu, katı malzeme yüzeylerinde, atomların ilk tabakasında
(moleküller) veya bu tabakanın üstünde oluşan partiküllerin (atomlar,
moleküller veya atom kümeleri) hareketiyle ilgili bir prosestir (bulk
difüzyonda olduğu gibi).
Atomlar, katının ve adsorplanan partiküllerin bir parçası olduğundan,
yüzey difüzyonuyla hareket edebilirler. Tipik olarak, yüzey partikülleri
rastgele termal dalgalanmalarla hareketli hale geçerler. Bir konsantrasyon
gradyanının (yüzey yoğunluğu) varlığında, çok sayıda partiküllerin rastgele
dolaşımı, gradyanın ters yönde ortalama difüzyon hareketine yol açar.