Analitik amaçlarla kullanılan X-ışınları üç
şekilde elde edilir: Yüksek enerjili bir elektron demeti ile bir metal hedef
bombardıman edilir. Fluoresan X-ışınları (ikincil ışınlar) elde etmek için bir
maddeye X-ışınları (birincil) gönderilir. X-ışını emisyonu olan bir radyoaktif
kaynak kullanılır.
X-ışını kaynakları, ultraviyole ve görünür
ışın veren kaynaklarda olduğu gibi, hem sürekli hem de kesikli (hat) spektrum
verirler; bu iki tip de analizlerde önemlidir.
Elektron Demeti Kaynaklarından Alınan
Sürekli Spektrum: Bir
X-ışını tüpünde ısıtılan bir katotta oluşturulan elektronlar, ~100 kV
potansiyel uygulanarak bir anoda (hedef) gönderilir; çarpışma sonucu
elektronların bir kısmı X-ışınlarına dönüşür. Bazı koşullarda, Şekilde görülen
sürekli bir spektrum, bazılarında da sürekli spektrumun üzerine binmiş bir hat
spektrumu meydana gelir.
Tungsten hedefli bir X-ışını tüpünden alınan sürekli
ışının dağılımı