(D. W. Pohl, 1982)
Taramalı yakın optik mikroskopi (SNOM, NSOM),
nanoyapıların incelenmesinde kullanılan bir mikroskopi tekniğidir. Temel
çalışma prensibi yakın alan etkisine dayanır; yüzeye gönderilen ışığın yüzeyle
olan etkileşimi incelenir. Gönderilen ışığın dalgaboyu ve difraksiyon limiti bu
taramanın çözünürlük sınırını belirler.
Yakın alan etkileşimi ile yapılan taramada ışığın çıkış noktasına yaklaştıkça
daralan metal sivri bir uç kullanılır; ucun çapı ışığın dalga boyundan daha
küçüktür. Tarayıcı ucun örnek yüzeyine olan yakınlığı geri beslemeli piezo
sistemlerle kontrol altında tutulur. Kullanılan metal uçtan çıkan ışığın,
numune yüzeyindeki elektrik alanla etkileşmesi ile yüzey taraması yapılır.
Bir yakın alan optik mikroskobun olası
konfigürasyonları
