(Manfred von Ardenne, 1937)
Taramalı elektron mikroskopi, yüzeyi odaklanmış elektron
demetiyle tarayarak bir yüzeyin (ikincil elektronları kaydederken)
topoğrafyasını görüntülemek ve/veya yüzey element dağılım paternini (geri
saçılan elektronları kaydederken, Auger elektronlar ve X-ışınları) elde etmektekullanılan
bir elektron mikroskopi tekniğidir.
Taramalı elektron mikroskop (SEM) bir elektron
mikroskobudur; odaklanmış bir elektron demeti ile örnek yüzeyi taranır, elektronlar
örnekte bulunan atomlarla etkileşerek örneğin yüzey topoğrafyası ve bileşimi
ile ilgili çeşitli sinyaller verir. Bir görüntü vermek için kullanılan dedektör
akımı, örnek üzerindeki elektron demetinin konumuna bağlıdır.
SEM’le 1 nm’den daha iyi rezolusyona
ulaşılabilir. Çalışmalar yüksek vakumda, düşük vakumda, ıslak koşullarda ve
geniş bir sıcaklık aralığında (kriyojenik-yüksek sıcaklıklar) yapılabilir. En
çok uygulanan taramalı elektron mikroskop modu, elektron demetiyle uyarılan
atomların emitlediği ikincil elektronların tayinine dayanır; saptanan ikincil
elektronların sayısı örnek topoğrafyasına bağlıdır.
Bir taramalı elektron mikroskobun (SEM) şematik görünümü
