Subpürüzlülük (alt-pürüzlülük), pürüzlülüğün
oluşumuna katılan, yüzeyin en küçük elementlerinin mikropaternidir.
Alt-pürüzlülük, yüzey analizi metotları ve taramalı
tünelleme mikroskopisi ve atomik kuvvet mikroskopisi gibi modern hassas
yöntemlerle tayin edilebilir. Alt-pürüzlülük, 1-100 nm yüksekliğinde ve 10-1000
nm genişliğinde karakteristik boyutlara sahip yüzey düzensizliklerinden
kaynaklanır; katıların iç yapısı ve kusurlarıyla, ayrıca yüzey ile çevre
arasındaki arayüzle (oksidasyon ve adsorpsiyon gibi prosesler) yakından
ilgilidir.
