Nanometroloji,
objelerin (tüm lineer boyutların nanoskalada olan) farklı parametrelerini
ölçmek için teorilerin, yöntemlerin ve araçların geliştirilmesiyle uğraşan bir
metroloji alt alanıdır.
Nanometroloji,
nanoteknoloji alanında ölçümlerin birliğini sağlamanın teorik ve pratik
yönlerini içerir: Fiziksel değerlerin referans standartları ve standart makineler,
standart kıyaslama şablonları; nanoteknoloji objelerin fiziksel ve kimyasal
parametrelerini ve özelliklerini ölçen standart teknikler ve nanoteknolojide
kullanılan ölçüm araçlarının kalibre edilmesi teknikleri; yapıların, objelerin
ve diğer nanoteknoloji ürünlerinin üretim süreçlerinin metrolojik olarak
izlenmesi.
Nanoteknolojide kullanılan en önemli karakterizasyon
teknikleri (alfabetik dizin): Atomik
kuvvet mikroskopi (AFM) veya Taramalı kuvvet mikroskopi (SFM); Auger elektron
spektroskopi (AES); Differensiyal taramalı kalorimetre (DSC); Dört nokta prob
AND I-V teknikleri; Elektron difraksiyon; Elektron enerji kayıp spektroskopi
(EELS); Enerji dispers X-ışını spektroskopi (EDX veya EDS veya XEDS); Fotoluminesans
spektroskopi (PL), elektroluminesans spektroskopi (EL), katodoluminesans
spektroskopi (CL); Fouier transform infrared spektroskopi (FTIR); İkincil iyon
kütle spektrometre (SIMS); Kapasitans spektroskopi; Küçük açı nötron saçılması
(SANS); Küçük açı X-ışını saçılması (SAXS); Mössbauer spektroskopi; Nötron
difraksiyon; Nucleer magnetik rezonans (NMR); Polarizasyon spektroskopi; Raman
spektroskopi; Siklik voltametri (CV) ve lineer sweep voltametri (LSV); Taramal
tünelleme mikroskopi (STM); Taramalı elektron mikroskopi (SEM); Taramalı
transmisyon elektron mikroskopi (STEM); Taramalı yakın alan optik mikroskopi
(SNOM veya NSOM); Tek molekül spektroskopi (SMS); Transmisyon elektron
mikroskopi (TEM); X- ışını difraksiyon (XRD); X-ışını absorbsiyon spektroskopi
(XAS); X-ışını fotoelektron spektroskopi (XPS) veya Kimyasal analiz elektron
spektroskopi (ESCA).
