Nanoelektromekanik-Sistemler (nanoelectromechanical systems)

Nanoelektromekanik-sistemler (NEMS), boyutu 100 nm’den daha küçük olan elektronik ve mekanik komponentlerin yapılmasına olanak sağlayan cihazlar veya sistemlerdir; mikroelektromekanik sistemlerden (MEMS) daha küçük bir skaladadırlar.

NEMS’ler yüksek frekans osilatörleri (10 GHz’e kadar), nanomotorlar ve modülatörler olarak kullanılır.

NEMS’ler çoğunlukla grafen ve karbon nanotüplerden üretilir. Üretimlerinde hem top-down üretim teknolojileri (optik ve elektron beam litografi) ve hem de bottom-up (moleküler recognition, self-montaj gibi) teknolojiler uygulanır.

NEMS objelerin elektron mikrografları (a, b, c, d: tek-kristal silikon, e: tek kristal elmas)

GERİ (sözlük)

GERİ (nanoteknoloji)