Biyomedikal mikroelektromekanik sistemler, mikroakışkanlar
ve moleküler tanıma teknolojilerini kullanan entegre mikroelektronik ve
mikromekanik bileşenlere sahip ve 20-1000 mikron boyutlarında, biyomedikal
teşhis ve tedavi cihazlarıdır.
Başlangıçta, MEMS, entegre devre üretim teknikleri (bir silikon çip
üzerine moleküler tabakaların biriktirilmesi, fotolitografi, aşındırma, v.s.)
kullanılarak üretildi. Daha sonra mikroakışkanlara ve moleküler tanıma
teknolojilerine (antijen-antikor etkileşimi, DNA hibridizasyonu, v.s.’ye)
dayanan MEMS geliştirildi. Bu sistemler biyolojik MEMS olarak adlandırıldı.
BioMEMS tabanlı implantlar, biyosensörler yardımıyla bir organizmanın iç
ortamını izlemek için kullanılır ve gereken dozlarda ilaç veya hormon
salabilir; örneğin. kandaki glikoz konsantrasyonu arttıkça insülin enjekte
eder. İmplant edilebilir bioMEMS, dış cihazlarla arayüz oluşturmak için
kablosuz iletişim sistemleri ile kurulabilir. Gastrointestinal sistemin gerçek
zamanlı görüntülerini aktarabilen, doku biyopsisi işlemleri gerçekleştiren ve
bir radyo sinyaline yanıt olarak ilaçları enjekte edebilen entegre bir optik
sistemi olan cihazlar geliştirilmiştir. BioMEMS uygulamaları arasında moleküler
teşhis ve tedavi, biyoimplantlar, çevre izleme ve biyolojik koruma bulunur.
Biyo-MEMS, bir çip üzerinde laboratuvar, μTAS alanlarının bazı
yönlerini özetleyen bir Venn şeması