İnce filmler,
kalınlığı bir nanometrenin kesirlerinden (nanoatomik tabakalar) birkaç mikrona
kadar olan ince. malzeme tabakalarıdır.
İnce filmler katı
veya sıvı olabilir (nadiren gaz). İnce filmin kompozisyonu, yapısı ve
özellikleri, kaynağı olan bulk (kütle) fazdan farklı olabilir. Katı ince
filmler metal yüzey üzerinde oksit filmler ve çeşitli malzemeler üzerinde
sentetik film kaplamalardır (mikroelektronik cihazlar yaratmak, korozyona
dayanıklılık sğlamak, görünümü geliştirmek gibi).
Sıvı ince filmler, köpüklerde gaz halinde dispers faza ve
emülsiyonlarda sıvı faza bölünür; kararlı köpükler ve emülsiyonlar sadece,
filmlerde sörfaktanlar varsa mümkündür. Sıvı ince filmler, grain sınır yüzey
enerjisi katı-sıvı arayüzey gerilimi (Gibbs-Smith durumu) değerinin iki
katından fazla ise, polikristalin katılardaki taneler (grain) arasında
kendiliğinden gelişebilir. Buharlaşma esnasında bir damlacık ve sıvı (bulk)
arasında dikkate değer ömürlü gazlı ince filmler ortaya çıkabilir.
İnce filmlerin kalınlığını belirlemek için, elipsometri
kullanarak yansıyan ışık şiddetinin ölçülmesine dayanan teknikler kullanılır;
ince filmlerin kapasitesi ve iletkenliğinin ölçülmesine dayanan elektriksel
yöntemler de vardır. Katı ince filmlerin incelenmesi ve katıların yüzeylerini
analizinde elektron mikroskopisi, X-ışını spektroskopisi ve diğer tekniklerden
yararlanılır. İnce filmler ve ince film kaplamalar, bazı modern teknoloji
alanlarının, özellikle mikroelektroniğin temelini oluştururlar.
