Elektron enerji kaybı spektroskopisi (EELS), katı cisim ile
etkileşim prosesinde sabit miktarda enerji kaybeden inelastik dağılmış
elektronların analizine dayanan bir elektron spektroskopisi tipidir.
Elektronların karakteristik enerji kayıpları, 10-3
ila 104 eV arasında geniş bir yelpazeyi kapsar; derin seviyelerde
uyarım (100-104 eV), plasmon uyarımı ve elektronik bantlararası
geçişler (1-100 eV) gibi çeşitli saçılma prosesleri nedeniyle, yüzey ve
adsorbat atomları titreşiminin uyarılmasıyla (10-3-1 eV) oluşabilir.
‘Elektronların karakteristik enerji kayıplarının (SECEL)
spektroskopisi’ terimi çift bir anlam taşır. Bir taraftan, 10-3 ila
104 eV aralığında elektron enerji kaybını analiz etme yöntemleri
için genel bir terim olarak kullanılır. Öte yandan, plazmaların uyarılması ve elektronik
aralıklı geçişler ile bağlantılı olarak birkaç eV ile birkaç on V arasında
değişen enerjilerle karakteristik kayıpları araştırmayı amaçlayan daha dar bir
anlam taşır.
İdeal bir
EELS spektrumu şemetik örünümü