Cantilever (manivela), mikromekanik prob
dizaynın taramalı prob mikroskopide kullanılan genel terimidir.
Bir manivela, ~ 0.03 mm genişlik ve 0.1 to 0.5 mm uzunlukta bir
projeksiyon demetli (gerçek cantilever), boyutları yaklaşık 1.5×3.5×0.5 mm olan
masif dikdörtgen bir tabandır. Demetin bir tarafı bir aynadır (yansıyan lazer
sinyalini geliştirmek için bazen üzerine ince bir alüminyum tabaka
püskürtülür); ayna, manivelanın bükülmesini kontrol etmek için bir optik sistem
kullanımasına olanak tanır. Demetin karşı serbest ucundaki bir iğne ölçülen
numune ile etkileşime girer. İğnenin şekli, üretim metoduna bağlı olarak önemli
ölçüde değişebilir. Endüstriyel manivelalarınn iğne ucu yarıçapı 5 ila 90 nm
arasındadır; laboratuar manivelalar için 1 nm'den başlar.
Tipik olarak, iğne haricindeki tüm yapı tek bir silikon kristaldir.
Cantileverler ayrıca silisyum nitrür (Si3N4) veya
polimerlerden de yapılabilir. Üretim prosesi, silikon elektroniklerin üretimine
benzer.
Bir
atomik kuvvet mikroskobun çalışmasını göstren şemetik diyagram
