(Pierre Victor Auger, 1920)
Auger elektron spektroskopi (AES), bir örneğin
yüksek enerji demetlerine (g, kuantanın, iyonların ve elektronların) maruz bırakıldığında Auger
etkisinden oluşan elektron enerjisiyle yapısının analiz etmekte kullanılan bir yöntemdir.
Auger etkisinde, bir örneğe
emitlenmiş yükek enerjili (EKL1L2,3 ) bir demet gönderildiğinde (Şekil a),
seviyelerin bağlanma enerjisi EKL1L2,3:
EKL1L2,3 = EK – EL1 – EL2,3 – j j = Evakum
– Efermi
j = malzemenin iş fonksiyonudur. Eşitlikle kaba bir sonuç elde edilir; çünkü,
bir iyondan ve nötral bir atomdan emitlenen elektronlar dikkate alınmamıştır. Atomların
iyonlaşması elektronik seviyelerin aşağıya kaymasına yol açar ve bu da doğal
olarak emitlenen Auger elektronların enerjisini etkiler.
Auger spektroskopi metodu yüksek yüzey hassasiyeti, kantitatif bilginin
elde edilebilirliği ve yöntemin rahat kullanılabilirliği nedeniyle Ar-Ge laboratuarlarında,
kimyasal ve metal endüstrilerinde ve mikro elektroniklerde yaygın olarak
kullanılmaktadır.
Şekil: (a) ve (b)
uyarılmış bir atomun relaksasyonunun iki rakip prosesini (Auger
emisyon ve X-ışını fluoresans) gösteren ve (c) L2,3VV Auger transmisyon şematik
diyagramlar (örnek olarak silikon alınmıştır, Auger elektronlar KL1L2,3
1591 eV, X-ışını kuanta enerjisi 1690 eV)
